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小流量超聲波流量計
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粘性漿料壓力傳感器，適用于粘性CMP漿料的壓力測量由于沒有死區(qū)，因此不存在CMP漿料硬化或氣泡等問題。
適合強(qiáng)酸，強(qiáng)堿流體測量的PFA壓力傳感器 -0.1又或0~0.3, 0.5, 1MPa 電流/電壓輸出，可對應(yīng)Flared、Super300等接頭 接液部：PFA 使用于化學(xué)流體
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